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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:單溫區(qū)旋轉(zhuǎn)PECVD石墨烯制備系統(tǒng)

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-PECVD-50R-1200-Q
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
單溫區(qū)旋轉(zhuǎn)PECVD,安裝有真空自動(dòng)投料器,爐管尾部預(yù)留KF40接口可以連接收料罐。投料器采用螺桿進(jìn)料,可以以額定的速率將粉料送入爐管,投料速率可通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速來更改。可實(shí)現(xiàn)在氣氛保護(hù)的環(huán)境下連續(xù)對(duì)粉末材料用PECVD方法進(jìn)行包裹和修飾。收料罐可以在氣氛保護(hù)環(huán)境下對(duì)處理好的料粉進(jìn)行收集。 設(shè)備配有100W頻率13.56MHz的視頻電源。能夠在真空中產(chǎn)生等離子體。高能等離子體能夠活化樣品表面,有效的增強(qiáng)反應(yīng)效果,提高反應(yīng)速率,這種輔助方法廣泛用于石墨烯制備,顆粒包覆等科學(xué)實(shí)驗(yàn)上。 本設(shè)備特別適合顆粒型樣品實(shí)驗(yàn),通過機(jī)械傳動(dòng)能夠控制工作管360°不間斷連續(xù)旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速可調(diào),使得管內(nèi)物料不斷的被攪拌混合,充分與氣體和等離子體接觸,使樣品的反應(yīng)更加均勻穩(wěn)定。
詳情介紹:

單溫區(qū)旋轉(zhuǎn)PECVD石墨烯制備

單溫區(qū)旋轉(zhuǎn)PECVD,安裝有真空自動(dòng)投料器,爐管尾部預(yù)留KF40接口可以連接收料罐。投料器采用螺桿進(jìn)料,可以以額定的速率將粉料送入爐管,投料速率可通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速來更改。可實(shí)現(xiàn)在氣氛保護(hù)的環(huán)境下連續(xù)對(duì)粉末材料用PECVD方法進(jìn)行包裹和修飾。收料罐可以在氣氛保護(hù)環(huán)境下對(duì)處理好的料粉進(jìn)行收集。

設(shè)備配有100W頻率13.56MHz的視頻電源。能夠在真空中產(chǎn)生等離子體。高能等離子體能夠活化樣品表面,有效的增強(qiáng)反應(yīng)效果,提高反應(yīng)速率,這種輔助方法廣泛用于石墨烯制備,顆粒包覆等科學(xué)實(shí)驗(yàn)上。

本設(shè)備特別適合顆粒型樣品實(shí)驗(yàn),通過機(jī)械傳動(dòng)能夠控制工作管360°不間斷連續(xù)旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速可調(diào),使得管內(nèi)物料不斷的被攪拌混合,充分與氣體和等離子體接觸,使樣品的反應(yīng)更加均勻穩(wěn)定。

技術(shù)參數(shù):

射頻電源

 

 

 

 

 

輸出功率

150W

輸出精度

±1%

射頻頻率

13.56MHz

射頻穩(wěn)定度

±0.005%

冷卻方式

風(fēng)冷

1200℃單溫區(qū)管式爐

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

供電電壓

AC220V,50Hz

*大功率

2KW

加熱溫區(qū)

單個(gè)溫區(qū)200mm

工作溫度

*高1200℃,連續(xù)運(yùn)行溫度應(yīng)≤1100

控溫精度

±1

控溫方式

AI-PID 30段工藝曲線,可存儲(chǔ)多條

三溫區(qū)獨(dú)立控制,帶有過熱和斷偶保護(hù)

爐管材質(zhì)

高純石英

爐管尺寸

φ50x800mm

密封方式

真空不銹鋼法蘭、KF16法蘭

可調(diào)轉(zhuǎn)速

0-20rpm

傾斜角度

0-15°

真空泵

旋片機(jī)械泵

極限真空度

1.0E-1Pa

進(jìn)料方式

真空漏斗加螺桿進(jìn)料


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